项目名称：非平衡度可调磁控溅射阴极

项目编号： 西交材招（2022）02

项目联系人：宋忠孝

项目联系电话：13088999507

采购单位联系方式：

采购单位： beat365官网地址下载beat365官方网站中文

采购联系人： 黄小燕 邮箱：huangxiaoyan@mail.xjtu.edu.cn

联系地址： 西安市咸宁西路28号beat365官网地址下载仲英楼A223室

一、采购项目的名称、数量、简要规格描述或项目基本概况介绍

名称：非平衡度可调磁控溅射阴极

数量：2个

主要技术指标：

型号：PMEAU1252500，

规格说明：

外置安装平面阴极，

间接水冷，换靶材不破水密封

适用靶材125mm*2500mm,

非平衡度可调设计, 可通过磁场的调节，增强离子对基片的轰击。提高膜的结合力以及满足其它镀膜的工艺技术要求

磁场均匀性+/-2%,

Cr靶功率密度10W/cm2

冷却水流量：25L/min

二、对供应商资格要求（供应商资格条件）

（一） 供应商的资格要求：
　　1. 符合《政府采购法》及其实施条例对投标人资格的要求；
　　2. 具有独立法人资格及相关证照，具有良好信誉及合同履行能力，具有良好资金、财务状况。
　　3. 供应商应为所提供产品的生产企业，或具有所提供生产企业出具的针对本项目的产品授权书。
　　4. 供应商不得被列入失信被执行人、重大税收违法案件当事人名单、政府采购严重违法失信行为名单记录。
　　5. 本项目不接受联合体投标。
　　6. 其他要求：
　　本项目特殊要求在技术规格指标中列明
（二）供应商报名方式：
　　符合本公告要求的供应商，填写附件《供应商报名登记表》并由法定代表人、委托代理人分别签字并加盖单位公章后，彩色扫描成PDF文件后发送给采购单位联系人邮箱。

三、采购文件的发售时间及地点等

磋商时间：2022年3月28日

地点：线上（腾讯会议）

获取磋商文件时间: 2022年3月22日-3月27日18点

获取磋商文件方式：报名审核通过的供应商由采购联系人以邮件形式发送标书要求。

响应文件递交时间：2022年3月28日上午

响应文件递交地址：西安市咸宁西路28号beat365官网地址下载仲英楼

响应文件开启时间： 2022年3月28日上午

响应文件开启地点：西安市咸宁西路28号beat365官网地址下载仲英楼